传感器和仪表元器件是仪器仪表与自动化系统*基础元器件之一。传感器和仪表元器件具备服务面广、品种繁多、需求量大等特点，其技术水平和产品质量的提升，将为我国制造业信息化奠下基础。现状与问题我国传感器和仪器仪表的技术和产品，经过发展，有了较小的提升。

全国早已有1600多家企事业单位专门从事传感器和仪表元器件的研制、研发、生产。但与国外比起，我国传感器和仪表元器件的产品品种和质量水平，尚能无法符合国内市场的市场需求，总体水平还正处于国外上世纪90年代初期的水平。不存在的主要问题有：（1）科技创新劣，核心生产技术相当严重迟缓于国外，享有自律知识产权的产品较少，品种不仅有，产品技术水平与国外差距15年左右。

（2）投资强度偏高，科研设备和生产工艺装备领先，成果水平较低，产品质量劣。（3）科技与生产僵化，影响科研成果的转化成，综合实力较低，产业发展后劲不足。战略目标到2020年，传感器及仪表元件领域不应谋求构建三大战略目标：以工业掌控、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象，发展具备自律知识产权的原创性技术和产品；以MEMS工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为相结合，强化生产工艺和新型传感器和仪表元器件的研发，使主导产品超过和相似国外同类产品的*；以减少品种、提高质量和经济效益为主要目标，加快产业化，使国产传感器和仪表元器件的品种占有率超过70%~80%，高档产品约60%以上。

发展重点传感器技术（1）MEMS工艺和新一代固态传感器微结构生产工艺：浅反应离子光刻（DRIE）工艺或IGP工艺；PCB工艺：如常温键合倒装焊、无形变度日结构PCB、多芯片组装有工艺；新型传感器：如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器，汽车专用压力、加速度传感器，环保用微化学传感器等。（2）构建工艺和多变量填充传感器微结构构建生产工艺；工业掌控用多变量填充传感器，如：压力、静压、温度三变量传感器、气压、风力、温度、湿度四变量传感器，微硅填充突发事件压力传感器，陈列传感器。（3）智能化技术与智能传感器信号有线或无线观测、变换处理、逻辑辨别、功能计算出来、双向通讯、自临床等智能化技术；智能多变量传感器，智能电量传感器和各种智能传感器、变送器。

（4）网络化技术和网络化传感器，使传感器具备工业化标准接口和协议功能。仪表元器件（1）弹性元件研发和完备新型成型工艺：电沉积成型工艺，焊成型工艺；重点研发航空、航天用的较低刚性、大偏移、长寿命的微小型仪器波纹管，高温高压阀用波纹管；研制波纹管高效成型工艺设备和性能检测仪器。（2）光学元件研发先进设备工艺：非球面光学元件设计、生产技术、光学多层测射镀膜技术和新型离子辅助镀膜技术。

研发光纤通讯和数字光学用新型光学元件。如：微型逆密度滤光片、超强窄带滤光片，微透镜阵列、大面积偏振元件、非球面玻-塑混合透镜。

（3）专用电路提升专用电路集成度和个性化服务的设计技术和生产工艺；应用软件烧结技术，研发合适智能化、网络化传感器和仪表的信号转换、补偿、线性化、通讯、网络接口等专用电路。

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