传感器和仪表元器件是仪器仪表与自动化系统*基础元器件之一。传感器和仪表元器件具备服务面广、品种繁多、需求量大等特点,其技术水平和产品质量的提升,将为我国制造业信息化奠下基础。现状与问题我国传感器和仪器仪表的技术和产品,经过发展,有了较小的提升。
全国早已有1600多家企事业单位专门从事传感器和仪表元器件的研制、研发、生产。但与国外比起,我国传感器和仪表元器件的产品品种和质量水平,尚能无法符合国内市场的市场需求,总体水平还正处于国外上世纪90年代初期的水平。不存在的主要问题有:(1)科技创新劣,核心生产技术相当严重迟缓于国外,享有自律知识产权的产品较少,品种不仅有,产品技术水平与国外差距15年左右。
(2)投资强度偏高,科研设备和生产工艺装备领先,成果水平较低,产品质量劣。(3)科技与生产僵化,影响科研成果的转化成,综合实力较低,产业发展后劲不足。战略目标到2020年,传感器及仪表元件领域不应谋求构建三大战略目标:以工业掌控、汽车、通讯、环保为重点服务领域,以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象,发展具备自律知识产权的原创性技术和产品;以MEMS工艺为基础,以集成化、智能化和网络化技术为相结合,强化生产工艺和新型传感器和仪表元器件的研发,使主导产品超过和相似国外同类产品的*;以减少品种、提高质量和经济效益为主要目标,加快产业化,使国产传感器和仪表元器件的品种占有率超过70%~80%,高档产品约60%以上。
发展重点传感器技术(1)MEMS工艺和新一代固态传感器微结构生产工艺:浅反应离子光刻(DRIE)工艺或IGP工艺;PCB工艺:如常温键合倒装焊、无形变度日结构PCB、多芯片组装有工艺;新型传感器:如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器,汽车专用压力、加速度传感器,环保用微化学传感器等。(2)构建工艺和多变量填充传感器微结构构建生产工艺;工业掌控用多变量填充传感器,如:压力、静压、温度三变量传感器、气压、风力、温度、湿度四变量传感器,微硅填充突发事件压力传感器,陈列传感器。(3)智能化技术与智能传感器信号有线或无线观测、变换处理、逻辑辨别、功能计算出来、双向通讯、自临床等智能化技术;智能多变量传感器,智能电量传感器和各种智能传感器、变送器。
(4)网络化技术和网络化传感器,使传感器具备工业化标准接口和协议功能。仪表元器件(1)弹性元件研发和完备新型成型工艺:电沉积成型工艺,焊成型工艺;重点研发航空、航天用的较低刚性、大偏移、长寿命的微小型仪器波纹管,高温高压阀用波纹管;研制波纹管高效成型工艺设备和性能检测仪器。(2)光学元件研发先进设备工艺:非球面光学元件设计、生产技术、光学多层测射镀膜技术和新型离子辅助镀膜技术。
研发光纤通讯和数字光学用新型光学元件。如:微型逆密度滤光片、超强窄带滤光片,微透镜阵列、大面积偏振元件、非球面玻-塑混合透镜。
(3)专用电路提升专用电路集成度和个性化服务的设计技术和生产工艺;应用软件烧结技术,研发合适智能化、网络化传感器和仪表的信号转换、补偿、线性化、通讯、网络接口等专用电路。
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